实验室SEM-EDS组合分析技术，如何对样品进行表面异物分析 _x光

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扫描电子显微镜（SEM）应用于断口分析、相的析出和发布特征分析、元素分布行为分析、结构分析等。 X射线能谱仪（EDS）则通过高能电子束照射样品产生X射线，通过不同元素发出的特征X射线具有的不同频率，检测不同光子的能量和X射线的强度来对元素进行定性分析和定量分析。
通过不同材料分析设备的组合使用，可以提供强大且不同种类的分析功能、提高分析仪器对不同领域的支持等。 SEM-EDS技术是扫描电子显微镜和X射线能谱仪组合在一起使用对材料的成分进行分析， SEM负责激发材料产生特征X射线、EDS负责对X射线进行能谱分析，这个方法可以对纳米薄膜、不锈钢单面散点异物等进行分析。
案例通过SEM-EDS分析技术对合金箔表面腐蚀区域进行观察分析，对腐蚀微区的腐蚀产物进行了相关的成分分析，为接下来的课题内容提供参考。

SEM-EDS分析技术功能强大，继承了SEM和EDS的很多特点，分析检测速率快、分析不会样品造成损伤、设备成本相对不高、操作简单方便。微源检测可提供SEM-EDS表面异物分析，遵照ISO17025和GMP进行实验室管理，为产品生产过程中可能产生的杂质提供评估报告、方法开发、验证及样品检测等一系列完整的解决方案。

列举部分SEM扫描电镜测试部分检测参考标准：