氟化氢 制造芯片的气体,中国原材料储量第一,日企却垄断全球90%市场
【氟化氢|制造芯片的气体,中国原材料储量第一,日企却垄断全球90%市场】
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日前 , 在我国新疆维吾尔自治区发现并探明一处超大型萤石矿床 。 据悉 , 卡尔恰尔萤石矿带超5.3千米 , 已经圈出的萤石矿体达31个 。
我国萤石储量全球第一 , 占全球总储量的15.19% 。 如今 , 这一超大型萤石矿床的发展 , 更是进一步丰富了我国萤石资源 。
简单科普一下 , 萤石在化工、建材、半导体等领域都是重要的基础原材料 。 以萤石为原材料生产出的氢氟酸 , 主要用作清洗晶圆表面 。 在氢氟酸基础上进一步加工而来的氟化氢 , 制造芯片的重要气体 。
氟化氢的重要性氟化氢在芯片制造过程中 , 具有十分关键的地位 , 主要用作半导体基板的切割 。 据了解 , 半导体产品制造600余道工序中 , 有十几次要用到氟化氢 。
高纯度氟化氢是一种半导体用刻蚀气体 , 在晶圆表面清洗、芯片生产过程中的刻蚀与杂物清除工序等方面 , 具有重要的作用 。 由此不难看出 , 氟化氢的重要性 。
值得注意的是 , 虽然我国萤石储量全球第一 , 但在氟化氢领域 , 日本企业却占据垄断地位 。
日本垄断氟化氢市场据了解 , 全球约90%的氟化氢市场被日本企业所垄断 , 日本是氟化氢最大供应国 。
日本氟化氢不仅产量大、价格低 , 而是纯度也在属全球顶尖 。 据悉 , 全球其他工厂只能制造出纯度99.99%的氟化氢 , 但日本可以制造出99.9999999999%超高纯度的氟化氢 。
即使是最先进的芯片生产 , 日本氟化氢也能够胜任 。 因此 , 日本企业才能在氟化氢领域卡住全球的脖子 。
在此前的日韩半导体之争中 , 日本便对出口韩国的三种材料进行了约束 , 其中便有氟化氢 。 这引起了韩国半导体产业的动荡 。 氟化氢难以长期保存 , 韩国也只能小批量进口 , 因此韩国国内的氟化氢储量难以支撑太长时间 。
从韩国的遭遇中 , 我国也不得不提高警惕 。
目前 , 我国所用的电子级氟化氢高度依赖进口 。 据悉 , 2018年我国共进口8139吨电子级氟化氢 。 为了不重蹈韩国覆辙 , 增强氟化氢国产替代速度十分有必要 。
据悉 , 我国虽有能力生产高纯度氟化氢 , 但在技术与工艺上 , 还同日本企业有着一定的距离 。
不只是氟化氢 , 在众多半导体原材料、设备等领域 , 我国还有明显的不足 。 这不利于我国芯片安全 , 为此加强国产替代迫在眉睫 。
文/BU 审核/子扬 校正/知秋
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