样品|清华大学等离子体刻蚀机采购项目公开招标，预算 165 万元
IT之家 3 月 29 日消息 ， 3 月 29 日 ， 清华大学发布了等离子体刻蚀机采购项目公开招标公告 。
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该公告显示 ， 清华大学现对等离子体刻蚀机采购项目进行国内公开招标 ， 欲采购 1 套等离子体刻蚀机 ， 采购预算为 165 万元 。
设备用途介绍 ：
该等离子体刻蚀机用于刻蚀薄膜铌酸锂晶圆 ， 从而加工基于薄膜铌酸锂晶圆的电光器件 。
【样品|清华大学等离子体刻蚀机采购项目公开招标，预算 165 万元】简要技术指标 ：
真空系统：★分子泵抽速≥1300L / s ， 干泵抽速≥100m3 / h；
下电极：★满足 8 英寸样品刻蚀需要 ， 更小样品或碎片可贴片装载；
软件和控制系统：★自主版权的软件 ， Windows 操作系统软件；
机台工艺能力：★主要用于刻蚀薄膜铌酸锂材料、介质材料等 。
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