技术|晶盛机电首台12英寸硬轴直拉炉成功生长出硅单晶

【技术|晶盛机电首台12英寸硬轴直拉炉成功生长出硅单晶】证券时报e公司讯 , 晶盛机电消息 , 7月20日 , 晶盛机电晶体实验室自主研发的国内首台12英寸硬轴直拉硅单晶炉成功生长出首颗12英寸硅单晶 。 这是继2020年8月国内首台8英寸硬轴直拉炉生长出8英寸硅单晶之后 , 又一次在半导体级硅单晶生长装备上取得的重要技术进展 , 为国内大硅片行业技术升级提供了装备保障 。

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